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等离子清洗机的基本知识、清洗原理等离子清洗机的基本知识、清洗原理


什么是等离子清洗机:
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁等目的。
等离子体和固体、液体或气体一样,是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
等离子清洗机原理:
等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。
在真空腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等体子体轰被清洗产品面.以达到清洗目的.
我们在长期从事等离子体应用技术研究和设备研制的基础上,充分借鉴欧美的先进技术,并通过与国内外著名研究机构的技术合作,开发出具有自主知识产权的电容耦合放电、电感耦合放电和远区等离子放电等多种放电类型的产品。特色鲜明的处理腔体形状和电极结构可以满足不同形状、不同材质的表面处理要求,包括薄膜、织物、零件、粉体和颗粒等。
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